半導體行業的核心部件~音圈電機

隨著半導體行業的蓬勃發展，越來越需要更高效率更穩定的結構形式來滿足。直線電機的出現首先解決了老式的伺服電機絲槓的結構形式中的速度以及精度問題。而更高的動態響應特徵以及更具效能的電機設計都將對直線電機的要求越來越高。

最常用的直線電機類型是平板式直線電機、U型槽式直線電機和圓柱型直線電機。圓柱型直線電機即音圈電機。音圈電機具有：結構簡單、反應速度快、靈敏度高、隨動性好、密封性好、不怕汙染、適應性強、工作穩定可靠、壽命長等優點，因而在半導體相關裝置等產業領域，廣泛的使用此類電機。音圈電機的應用市場前景十分廣闊。本文同茂直線電機帶你認識半導體領域的音圈電機應用。

貼片中應用

音圈電機在貼片流程中需要完成的動作主要有三個部分：拾取、旋轉和放置。拾取和旋轉動作僅僅需要對運動目標位置有要求，音圈電機的拾取、旋轉兩個動作均為重複運動。芯片放置是整個貼片流程中最為關鍵的一個環節。為確保貼片的可靠性，該環節不僅需要高精度的位置控制，還需要對音圈電機直線軸的輸出力進行控制，即力/位混合控制。具體到音圈電機的控制方式上，即如何高效、安全地實現音圈電機的軟著陸。，後者能有效地實現音圈電機軟著陸控制，並在參數整定、程序編寫及運動軌跡觀測等方面相對前者更有優勢。

半導體貼片

引線連接器

與半導體制造裝置有關的引線連接器的裝置，一般都在Z軸機構和XY工作臺機構上使用。Z軸機構，是相對於XY工作臺上的IC芯片，用金屬線連接電極與引線架而上下運動的機構。XY工作臺機構是由於連接位置改變，使放置IC芯片電極與引線架的工作臺移動的機構。

音圈電機

有效緩衝器

為確保半導體相關裝置中的加工精度，對裝置所安放地基的振動以及設在裝置上的驅動機器產生的振動必須予以抑制。原來是用彈簧和流體進行被動的或主動的振動抑制，由於音圈電機的結構簡單，響應性好等特點，而且對檢測的振動能實現抵消作用的操作。這一有效減振器非常適用，由此而得到積極的推廣。

雙軸十字平臺

隨著工業4.0的工業步伐，音圈直線電機在半導體行業已經變成不可缺少的核心部件了，標準同茂音圈電機峰值推力可以達到5000N，行程能夠達到300mm，擺動型音圈電機峰值扭矩達到50N.M，擺動角度大於120。而且音圈直線電機將會得到更多領域的應用，慢慢替代齒輪齒條、絲桿等傳統電機。