'中微登陸科創板的背後：15年風雨同舟，打造“國之重器”'

5納米約為頭髮絲直徑的1/15000，製造5納米邏輯器件，要用目前全球最先進的集成電路技術。中微半導體設備（上海）股份有限公司自主研發的甚高頻去耦合反應離子刻蝕機，已在5納米芯片生產廠核准，近日投入量產並實現批量銷售。今年，在美國半導體市場諮詢公司VLSI Research開展的半導體設備企業評比中，中微公司成為全球5家五星級企業之一。其設備產品已進入國內外40多條芯片生產線。

15年前，尹志堯博士帶領14名半導體設備行業的華人技術和管理專家來到上海張江，創立了中微半導體設備（上海）有限公司。從那以後，上海相關部門一直與這家企業風雨同舟，上海創投和此後組建的上海科創投集團對它進行了多輪戰略投資，成為中微的第一大股東。國家集成電路產業投資基金成立後，將中微作為第一個投資對象，如今是第二大股東。這兩大股東並不干預企業運營，使中微一直保持自主靈活的發展策略。

今年7月，中微成為首批科創板上市公司之一。其自主研發的等離子體刻蝕機、MOCVD（金屬有機化學氣相沉積設備）等“國之重器”，將得到資本市場更大的支持。

從沒人願投到爭相投資

中微公司董事長兼總經理尹志堯說，他與合作伙伴的創業之路“源自退休時的一閃念”。17年前，上海市政府副祕書長江上舟與尹志堯等一批海外華人留學生座談，觸發了他回國創業的念頭。當時，他已從美國應用材料公司副總裁崗位上退休，本可以過上安逸的晚年生活。然而2014年，他帶領14名華人專家回到祖國，創立了中微。

“當時的市領導非常支持我們，把中微要研發的半導體化學薄膜製造及等離子體刻蝕設備列入上海市科教興市項目。”尹志堯回憶。在相關協議中，上海創投承諾對中微投資5000萬元。

憑藉這份協議，中微創始團隊開始在國內融資。我國15年前的集成電路投資環境，與如今相去甚遠。多家大型國企、民企和投資公司研究了中微項目後，都不肯投資，因為他們不瞭解半導體設備行業，而且半導體關鍵設備研發投入巨大，國際市場已被美日少數幾家企業壟斷。無奈，尹志堯只得前往美國硅谷融資，那裡的許多風投機構看好這個華人創業團隊。在硅谷，中微完成了華登國際領投的3949萬美元A輪融資。

5納米約為頭髮絲直徑的1/15000，製造5納米邏輯器件，要用目前全球最先進的集成電路技術。中微半導體設備（上海）股份有限公司自主研發的甚高頻去耦合反應離子刻蝕機，已在5納米芯片生產廠核准，近日投入量產並實現批量銷售。今年，在美國半導體市場諮詢公司VLSI Research開展的半導體設備企業評比中，中微公司成為全球5家五星級企業之一。其設備產品已進入國內外40多條芯片生產線。

15年前，尹志堯博士帶領14名半導體設備行業的華人技術和管理專家來到上海張江，創立了中微半導體設備（上海）有限公司。從那以後，上海相關部門一直與這家企業風雨同舟，上海創投和此後組建的上海科創投集團對它進行了多輪戰略投資，成為中微的第一大股東。國家集成電路產業投資基金成立後，將中微作為第一個投資對象，如今是第二大股東。這兩大股東並不干預企業運營，使中微一直保持自主靈活的發展策略。

今年7月，中微成為首批科創板上市公司之一。其自主研發的等離子體刻蝕機、MOCVD（金屬有機化學氣相沉積設備）等“國之重器”，將得到資本市場更大的支持。

從沒人願投到爭相投資

中微公司董事長兼總經理尹志堯說，他與合作伙伴的創業之路“源自退休時的一閃念”。17年前，上海市政府副祕書長江上舟與尹志堯等一批海外華人留學生座談，觸發了他回國創業的念頭。當時，他已從美國應用材料公司副總裁崗位上退休，本可以過上安逸的晚年生活。然而2014年，他帶領14名華人專家回到祖國，創立了中微。

“當時的市領導非常支持我們，把中微要研發的半導體化學薄膜製造及等離子體刻蝕設備列入上海市科教興市項目。”尹志堯回憶。在相關協議中，上海創投承諾對中微投資5000萬元。

憑藉這份協議，中微創始團隊開始在國內融資。我國15年前的集成電路投資環境，與如今相去甚遠。多家大型國企、民企和投資公司研究了中微項目後，都不肯投資，因為他們不瞭解半導體設備行業，而且半導體關鍵設備研發投入巨大，國際市場已被美日少數幾家企業壟斷。無奈，尹志堯只得前往美國硅谷融資，那裡的許多風投機構看好這個華人創業團隊。在硅谷，中微完成了華登國際領投的3949萬美元A輪融資。

尹志堯博士走上2018上海科技節紅毯。

此後15年間，我國集成電路產業政策和投資環境越來越好，這反映在中微的融資進程中：從C輪起，上海科創投集團領投了這家上海企業；從D輪起，投資機構主要來自中國，包括國開金融、國家集成電路產業投資基金等巨頭。“從國內投資機構不敢投、不願投，到眾多機構爭相投資，我國集成電路產業經歷了翻天覆地的變化。”尹志堯感嘆。

3次被美企起訴立於不敗

“中微的成長曆程，可謂九死一生。”上海科創投集團副總經理朱民說，3家美國半導體設備企業對中微輪番發起知識產權訴訟，就是決定企業生死的坎。

尹志堯2004年帶領創業團隊回國時，處於壟斷地位的美國半導體設備企業認為中微不可能挑戰它們。然而4年後，中微自主研發的等離子體刻蝕機進入了中芯國際生產線，還將進入臺灣最先進的芯片生產線。得知這個消息，國際半導體設備龍頭企業應用材料公司坐不住了，向美國聯邦法院起訴中微侵犯其商業祕密。這是一次沒有證據的起訴，但按照美國法律，被告必須自證清白。中微選擇積極應對，聘美富律師事務所對其進行調查。這家律所耗時兩年半，查閱了600多萬份中微文件以及30多名曾在應用材料工作的員工個人文件和電腦，認定他們是清白的。最終，應用材料與中微達成訴訟和解，並表示今後可開展項目合作。

2009年，由於中微刻蝕設備將進入更多的臺灣芯片生產線，國際最先進的等離子體刻蝕設備廠商泛林集團出手了，向臺灣地區智慧財產法院起訴中微侵犯其兩個專利權。對於專利官司，中微早有準備。他們就深入研究了國際競爭者、客戶和零部件供應商的數千件相關專利，分析哪些專利有前置專利，實際上是無效的，哪些則不可逾越。他們還非常重視專利保護，截至今年6月底，已申請1280件專利，其中發明專利1118件；已獲授權專利961件，其中發明專利814件。憑藉自主創新和專利戰略，泛林起訴8個月後被判專利無效而敗訴。之後，這家美企又上訴4次，全部敗訴。

5納米約為頭髮絲直徑的1/15000，製造5納米邏輯器件，要用目前全球最先進的集成電路技術。中微半導體設備（上海）股份有限公司自主研發的甚高頻去耦合反應離子刻蝕機，已在5納米芯片生產廠核准，近日投入量產並實現批量銷售。今年，在美國半導體市場諮詢公司VLSI Research開展的半導體設備企業評比中，中微公司成為全球5家五星級企業之一。其設備產品已進入國內外40多條芯片生產線。

15年前，尹志堯博士帶領14名半導體設備行業的華人技術和管理專家來到上海張江，創立了中微半導體設備（上海）有限公司。從那以後，上海相關部門一直與這家企業風雨同舟，上海創投和此後組建的上海科創投集團對它進行了多輪戰略投資，成為中微的第一大股東。國家集成電路產業投資基金成立後，將中微作為第一個投資對象，如今是第二大股東。這兩大股東並不干預企業運營，使中微一直保持自主靈活的發展策略。

今年7月，中微成為首批科創板上市公司之一。其自主研發的等離子體刻蝕機、MOCVD（金屬有機化學氣相沉積設備）等“國之重器”，將得到資本市場更大的支持。

從沒人願投到爭相投資

中微公司董事長兼總經理尹志堯說，他與合作伙伴的創業之路“源自退休時的一閃念”。17年前，上海市政府副祕書長江上舟與尹志堯等一批海外華人留學生座談，觸發了他回國創業的念頭。當時，他已從美國應用材料公司副總裁崗位上退休，本可以過上安逸的晚年生活。然而2014年，他帶領14名華人專家回到祖國，創立了中微。

“當時的市領導非常支持我們，把中微要研發的半導體化學薄膜製造及等離子體刻蝕設備列入上海市科教興市項目。”尹志堯回憶。在相關協議中，上海創投承諾對中微投資5000萬元。

憑藉這份協議，中微創始團隊開始在國內融資。我國15年前的集成電路投資環境，與如今相去甚遠。多家大型國企、民企和投資公司研究了中微項目後，都不肯投資，因為他們不瞭解半導體設備行業，而且半導體關鍵設備研發投入巨大，國際市場已被美日少數幾家企業壟斷。無奈，尹志堯只得前往美國硅谷融資，那裡的許多風投機構看好這個華人創業團隊。在硅谷，中微完成了華登國際領投的3949萬美元A輪融資。

尹志堯博士走上2018上海科技節紅毯。

此後15年間，我國集成電路產業政策和投資環境越來越好，這反映在中微的融資進程中：從C輪起，上海科創投集團領投了這家上海企業；從D輪起，投資機構主要來自中國，包括國開金融、國家集成電路產業投資基金等巨頭。“從國內投資機構不敢投、不願投，到眾多機構爭相投資，我國集成電路產業經歷了翻天覆地的變化。”尹志堯感嘆。

3次被美企起訴立於不敗

“中微的成長曆程，可謂九死一生。”上海科創投集團副總經理朱民說，3家美國半導體設備企業對中微輪番發起知識產權訴訟，就是決定企業生死的坎。

尹志堯2004年帶領創業團隊回國時，處於壟斷地位的美國半導體設備企業認為中微不可能挑戰它們。然而4年後，中微自主研發的等離子體刻蝕機進入了中芯國際生產線，還將進入臺灣最先進的芯片生產線。得知這個消息，國際半導體設備龍頭企業應用材料公司坐不住了，向美國聯邦法院起訴中微侵犯其商業祕密。這是一次沒有證據的起訴，但按照美國法律，被告必須自證清白。中微選擇積極應對，聘美富律師事務所對其進行調查。這家律所耗時兩年半，查閱了600多萬份中微文件以及30多名曾在應用材料工作的員工個人文件和電腦，認定他們是清白的。最終，應用材料與中微達成訴訟和解，並表示今後可開展項目合作。

2009年，由於中微刻蝕設備將進入更多的臺灣芯片生產線，國際最先進的等離子體刻蝕設備廠商泛林集團出手了，向臺灣地區智慧財產法院起訴中微侵犯其兩個專利權。對於專利官司，中微早有準備。他們就深入研究了國際競爭者、客戶和零部件供應商的數千件相關專利，分析哪些專利有前置專利，實際上是無效的，哪些則不可逾越。他們還非常重視專利保護，截至今年6月底，已申請1280件專利，其中發明專利1118件；已獲授權專利961件，其中發明專利814件。憑藉自主創新和專利戰略，泛林起訴8個月後被判專利無效而敗訴。之後，這家美企又上訴4次，全部敗訴。

中微公司研發人員在操作等離子體刻蝕機。

2017年，中微遇到一道更大的坎。國際領先的MOCVD製造商維易科公司向紐約東區法院起訴中微一家德國供應商，認為它根據中微設計製造的反應器旋轉託盤侵犯其專利權。當時，中微研發的MOCVD正在大舉進入國內外市場，動了這家美企的奶酪。紐約東區法院在未作出中微是否侵權的裁決前，就向中微實施旋轉盤禁運。旋轉盤是生產MOCVD的消耗件，禁運可造成使用中微設備的LED（發光二極管）生產廠停產。為了反擊，中微向中國國家知識產權局提出維易科專利無效申請，並向福建高院起訴維易科公司的旋轉盤設計侵犯中微專利權。2017年11月，國家知識產權局專利複審委作出審查決定，確認中微專利有效。福建高院隨即對維易科的MOCVD實施禁運。去年2月，中微及其德國供應商與維易科達成訴訟和解，友好解決了所有未決紛爭。

期權激勵吸引各國人才

上海科創投集團總經理沈偉國認為，中微在歷次訴訟中立於不敗之地的原因有兩方面：內因是公司先進的管理理念、強大的研發能力和嚴格的知識產權管理制度，外因是國家和上海相關部門的長期支持。

中微開發產品遵循十大原則：為達到工藝加工的最高要求和最好性能而設計，為實現工藝過程的重複性和穩定性而設計，為設備的可靠性和耐用性而設計……在這些原則的引導下，中微開發的微觀加工高端設備性能優、成本低、操作簡單且穩定可靠。

中微團隊的國際化程度很高，外籍員工約佔員工總數的四分之一，來自10個國家和地區。研發團隊結構完整，200多人的專業背景覆蓋30多個學科，為高度複雜的設備研發奠定了基礎。

全員期權激勵，是中微吸引人才、留住人才的一大祕訣。尹志堯非常認同馬克思的剩餘價值理論，認為企業的價值是由資本投入和勞動創新產生的，所以勞動創新所創造的剩餘價值，應該有一部分以期權或股權形式回饋給所有員工，無需員工像股東一樣出資購買。“這種全員期權激勵制度，是硅谷眾多企業發展壯大的關鍵因素。對高科技企業來說，在實驗室和客戶端第一線的工程技術和管理人員是創新的中堅力量，全員期權激勵能最大限度地激發他們的工作積極性，使員工把自己的長遠利益與公司發展緊密聯繫起來。”本著這種理念，中微700多名在職員工都擁有公司股份，了公司上市後的喜悅。

5納米約為頭髮絲直徑的1/15000，製造5納米邏輯器件，要用目前全球最先進的集成電路技術。中微半導體設備（上海）股份有限公司自主研發的甚高頻去耦合反應離子刻蝕機，已在5納米芯片生產廠核准，近日投入量產並實現批量銷售。今年，在美國半導體市場諮詢公司VLSI Research開展的半導體設備企業評比中，中微公司成為全球5家五星級企業之一。其設備產品已進入國內外40多條芯片生產線。

15年前，尹志堯博士帶領14名半導體設備行業的華人技術和管理專家來到上海張江，創立了中微半導體設備（上海）有限公司。從那以後，上海相關部門一直與這家企業風雨同舟，上海創投和此後組建的上海科創投集團對它進行了多輪戰略投資，成為中微的第一大股東。國家集成電路產業投資基金成立後，將中微作為第一個投資對象，如今是第二大股東。這兩大股東並不干預企業運營，使中微一直保持自主靈活的發展策略。

今年7月，中微成為首批科創板上市公司之一。其自主研發的等離子體刻蝕機、MOCVD（金屬有機化學氣相沉積設備）等“國之重器”，將得到資本市場更大的支持。

從沒人願投到爭相投資

中微公司董事長兼總經理尹志堯說，他與合作伙伴的創業之路“源自退休時的一閃念”。17年前，上海市政府副祕書長江上舟與尹志堯等一批海外華人留學生座談，觸發了他回國創業的念頭。當時，他已從美國應用材料公司副總裁崗位上退休，本可以過上安逸的晚年生活。然而2014年，他帶領14名華人專家回到祖國，創立了中微。

“當時的市領導非常支持我們，把中微要研發的半導體化學薄膜製造及等離子體刻蝕設備列入上海市科教興市項目。”尹志堯回憶。在相關協議中，上海創投承諾對中微投資5000萬元。

憑藉這份協議，中微創始團隊開始在國內融資。我國15年前的集成電路投資環境，與如今相去甚遠。多家大型國企、民企和投資公司研究了中微項目後，都不肯投資，因為他們不瞭解半導體設備行業，而且半導體關鍵設備研發投入巨大，國際市場已被美日少數幾家企業壟斷。無奈，尹志堯只得前往美國硅谷融資，那裡的許多風投機構看好這個華人創業團隊。在硅谷，中微完成了華登國際領投的3949萬美元A輪融資。

尹志堯博士走上2018上海科技節紅毯。

此後15年間，我國集成電路產業政策和投資環境越來越好，這反映在中微的融資進程中：從C輪起，上海科創投集團領投了這家上海企業；從D輪起，投資機構主要來自中國，包括國開金融、國家集成電路產業投資基金等巨頭。“從國內投資機構不敢投、不願投，到眾多機構爭相投資，我國集成電路產業經歷了翻天覆地的變化。”尹志堯感嘆。

3次被美企起訴立於不敗

“中微的成長曆程，可謂九死一生。”上海科創投集團副總經理朱民說，3家美國半導體設備企業對中微輪番發起知識產權訴訟，就是決定企業生死的坎。

尹志堯2004年帶領創業團隊回國時，處於壟斷地位的美國半導體設備企業認為中微不可能挑戰它們。然而4年後，中微自主研發的等離子體刻蝕機進入了中芯國際生產線，還將進入臺灣最先進的芯片生產線。得知這個消息，國際半導體設備龍頭企業應用材料公司坐不住了，向美國聯邦法院起訴中微侵犯其商業祕密。這是一次沒有證據的起訴，但按照美國法律，被告必須自證清白。中微選擇積極應對，聘美富律師事務所對其進行調查。這家律所耗時兩年半，查閱了600多萬份中微文件以及30多名曾在應用材料工作的員工個人文件和電腦，認定他們是清白的。最終，應用材料與中微達成訴訟和解，並表示今後可開展項目合作。

2009年，由於中微刻蝕設備將進入更多的臺灣芯片生產線，國際最先進的等離子體刻蝕設備廠商泛林集團出手了，向臺灣地區智慧財產法院起訴中微侵犯其兩個專利權。對於專利官司，中微早有準備。他們就深入研究了國際競爭者、客戶和零部件供應商的數千件相關專利，分析哪些專利有前置專利，實際上是無效的，哪些則不可逾越。他們還非常重視專利保護，截至今年6月底，已申請1280件專利，其中發明專利1118件；已獲授權專利961件，其中發明專利814件。憑藉自主創新和專利戰略，泛林起訴8個月後被判專利無效而敗訴。之後，這家美企又上訴4次，全部敗訴。

中微公司研發人員在操作等離子體刻蝕機。

2017年，中微遇到一道更大的坎。國際領先的MOCVD製造商維易科公司向紐約東區法院起訴中微一家德國供應商，認為它根據中微設計製造的反應器旋轉託盤侵犯其專利權。當時，中微研發的MOCVD正在大舉進入國內外市場，動了這家美企的奶酪。紐約東區法院在未作出中微是否侵權的裁決前，就向中微實施旋轉盤禁運。旋轉盤是生產MOCVD的消耗件，禁運可造成使用中微設備的LED（發光二極管）生產廠停產。為了反擊，中微向中國國家知識產權局提出維易科專利無效申請，並向福建高院起訴維易科公司的旋轉盤設計侵犯中微專利權。2017年11月，國家知識產權局專利複審委作出審查決定，確認中微專利有效。福建高院隨即對維易科的MOCVD實施禁運。去年2月，中微及其德國供應商與維易科達成訴訟和解，友好解決了所有未決紛爭。

期權激勵吸引各國人才

上海科創投集團總經理沈偉國認為，中微在歷次訴訟中立於不敗之地的原因有兩方面：內因是公司先進的管理理念、強大的研發能力和嚴格的知識產權管理制度，外因是國家和上海相關部門的長期支持。

中微開發產品遵循十大原則：為達到工藝加工的最高要求和最好性能而設計，為實現工藝過程的重複性和穩定性而設計，為設備的可靠性和耐用性而設計……在這些原則的引導下，中微開發的微觀加工高端設備性能優、成本低、操作簡單且穩定可靠。

中微團隊的國際化程度很高，外籍員工約佔員工總數的四分之一，來自10個國家和地區。研發團隊結構完整，200多人的專業背景覆蓋30多個學科，為高度複雜的設備研發奠定了基礎。

全員期權激勵，是中微吸引人才、留住人才的一大祕訣。尹志堯非常認同馬克思的剩餘價值理論，認為企業的價值是由資本投入和勞動創新產生的，所以勞動創新所創造的剩餘價值，應該有一部分以期權或股權形式回饋給所有員工，無需員工像股東一樣出資購買。“這種全員期權激勵制度，是硅谷眾多企業發展壯大的關鍵因素。對高科技企業來說，在實驗室和客戶端第一線的工程技術和管理人員是創新的中堅力量，全員期權激勵能最大限度地激發他們的工作積極性，使員工把自己的長遠利益與公司發展緊密聯繫起來。”本著這種理念，中微700多名在職員工都擁有公司股份，了公司上市後的喜悅。

中微公司研發人員在操作MOCVD設備。

“店小二”助力登陸科創板

15年發展歷程中，中微得到了來自國家和上海的鼎力相助。從2009年起，中微成為國家科技重大專項“極大規模集成電路製造技術及成套工藝”首批承擔單位之一，先後承擔了5個項目，在等離子體刻蝕機多項關鍵核心技術上取得突破。

2012年，在上海市領導支持下，尹志堯等4位上海集成電路領軍人物聯名致信中央，建議將半導體芯片工業作為國家重點扶持的戰略性產業，在未來10—20年內實現跨越式發展。這封信得到了中央領導的高度重視。2014年6月，工業和信息化部發布《國家集成電路產業發展推進綱要》，決定設立國家集成電路產業投資基金。這個基金投資的第一家企業，就是中微。近年來，尹志堯等人向證監會和上交所提出的一系列科創企業上市政策建議，也得到了領導的高度重視。

不忘初心、風雨同舟，這家上海企業終於成功上市。“真是不可思議！”朱民感慨道，“從宣佈設立科創板並試點註冊制，到中微公司上市，前後只有8個多月。”不可思議的背後，是科創板對高科技企業的扶持，為這類企業打通資本市場創造了條件。不可思議的背後，還有政府部門的“店小二”服務。為推動中微登陸科創板，市國資委多次召開專題研究會，提出評估備案、產權登記和國資確權的工作方案。多位公務員加班加點，審核中微15年曆史沿革涉及的各項國資監管程序。為加快中微的工商變更登記，市市場監管局變“串聯審批”為“並聯推進”，為公司獲批上市贏得了寶貴時間。在中微發展歷程中，市發改委、市財政局、市經信委、市科委等部門也給予了大力支持。

站在新的起點上，尹志堯對公司未來充滿了信心：“我們首先要以有機生長為主，開發下一代更先進的等離子體刻蝕機和化學薄膜設備，繼續擴大市場佔有率。我們要通過併購與合作，和國內外設備公司協同發展，擴展自身業務。我們還要積極尋找和公司核心技術相關的新增長點。”可以預見，在這個“國之重器”領域，“中國創造”將具有越來越大的全球影響力。

欄目主編：黃海華 文字編輯：俞陶然 題圖來源：中微公司 提供 圖片編輯：徐佳敏